教授 博士生导师 硕士生导师
性别: 男
毕业院校: 大连理工大学
学位: 博士
所在单位: 物理学院
学科: 等离子体物理
办公地点: 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室
电子邮箱: yxliu129@dlut.edu.cn
手机版
开通时间: ..
最后更新时间: ..
点击次数:
论文类型: 会议论文
发表时间: 2011-09-15
页面范围: 1-1
关键字: 容性耦合等离子体;反弹共振加热;双探针;发射光谱
上一条: 双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究
下一条: A brief review of dual-frequency capacitively coupled discharges