大连理工大学　 登录　 English　
刘永新
点赞：

教授   博士生导师   硕士生导师

性别： 男

毕业院校： 大连理工大学

学位： 博士

所在单位： 物理学院

学科： 等离子体物理

办公地点： 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

电子邮箱： yxliu129@dlut.edu.cn

手机版

访问量：

开通时间： ..

最后更新时间： ..

同专业博导 同专业硕导 个人学术主页
当前位置: Yong >> 科学研究 >> 论文成果
Experimental investigations of electron density and ion energy distributions in dual-frequency capacitively coupled plasmas for Ar/CF4 and Ar/O2/CF4 discharges

点击次数：

论文类型： 期刊论文

发表时间： 2015-01-01

发表刊物： J. Appl. Phys.

卷号： 117

期号： 14

页面范围： 143301-143301

辽ICP备05001357号 地址：中国·辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 邮编：116024
版权所有：大连理工大学