教授 博士生导师 硕士生导师
性别： 男
毕业院校： 大连理工大学
学位： 博士
所在单位： 物理学院
学科： 等离子体物理
办公地点： 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室
电子邮箱： yxliu129@dlut.edu.cn
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发表时间： 2024-05-17
发表刊物： Plasma Sources Science and Technology
卷号： 33
期号： 4
ISSN号： 0963-0252
关键字： Absorption mechanisms; Boltzmann; Boltzmann term analyse; Capacitively coupled plasmas; Electric discharges; Electron power; Electron power absorption; Inductively coupled plasma; Particle-in-cell simulations; Plasma simulation; Power absorption; Term analysis; Voltage amplitude
