大连理工大学主页平台管理系统刘永新 An experimental and computational investigation of discharge mode transitions in a partially magnetized radio frequency capacitively coupled oxygen discharge Yong

刘永新

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教授博士生导师硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

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Effect of a negative DC bias on a capacitively coupled Ar plasma operated at different radiofrequency voltages and gas pressures

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发布时间：2024-09-14

发表刊物：PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号：26

期号：5

ISSN号：1009-0630

关键字：DRIVEN; ELECTRON; ION ENERGY-DISTRIBUTIONS; REGIMES; RF DISCHARGE; TRANSITION