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刘永新
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别： 男

毕业院校： 大连理工大学

学位： 博士

所在单位： 物理学院

学科： 等离子体物理

办公地点： 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

电子邮箱： yxliu129@dlut.edu.cn

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Effect of a negative DC bias on a capacitively coupled Ar plasma operated at different radiofrequency voltages and gas pressures

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发表刊物： PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号： 26

期号： 5

ISSN号： 1009-0630

关键字： DRIVEN; ELECTRON; ION ENERGY-DISTRIBUTIONS; REGIMES; RF DISCHARGE; TRANSITION

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