大连理工大学主页平台管理系统刘永新 The electrical asymmetry effect in electronegative CF4 capacitive RF plasmas operated in the striation mode Yong

刘永新

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教授博士生导师硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

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The electrical asymmetry effect in electronegative CF4 capacitive RF plasmas operated in the striation mode

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发布时间：2024-09-14

发表刊物：PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号：32

期号：8

ISSN号：0963-0252

关键字：ARGON; BEAMS; CONSISTENT PARTICLE SIMULATION; DISCHARGE; ENERGY-DISTRIBUTION