大连理工大学主页平台管理系统刘永新 A comprehensive study on the electron cyclotron resonance effect in a weakly magnetized capacitively coupled RF plasma: experiment, simulation and modeling Yong

刘永新

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教授博士生导师硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

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A comprehensive study on the electron cyclotron resonance effect in a weakly magnetized capacitively coupled RF plasma: experiment, simulation and modeling

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发布时间：2024-09-14

发表刊物：Plasma Sources Science and Technology

卷号：32

期号：4

ISSN号：0963-0252

上一条：Experimental investigation of the radially-dependent ignition process in a pulsed capacitively coupled RF discharge: Effects of pressure, voltage and afterglow duration

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