大连理工大学主页平台管理系统刘永新--Yong-- Experimental investigation of the radially-dependent ignition process in a pulsed capacitively coupled RF discharge: Effects of pressure, voltage and afterglow duration

刘永新

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教授博士生导师硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

电子邮箱： yxliu129@dlut.edu.cn

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Experimental investigation of the radially-dependent ignition process in a pulsed capacitively coupled RF discharge: Effects of pressure, voltage and afterglow duration

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发表刊物： Physica Scripta

卷号： 98

期号： 4

ISSN号： 0031-8949

上一条： An experimental and computational study on the ignition process of a pulse modulated dual-RF capacitively coupled plasma operated at various low-frequency voltage amplitudes

下一条： A comprehensive study on the electron cyclotron resonance effect in a weakly magnetized capacitively coupled RF plasma: experiment, simulation and modeling