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刘永新
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别: 男

毕业院校: 大连理工大学

学位: 博士

所在单位: 物理学院

学科: 等离子体物理

办公地点: 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

电子邮箱: yxliu129@dlut.edu.cn

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Energy efficient F atom generation and control in CF4 capacitively coupled plasmas driven by tailored voltage waveforms

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发表时间: 2024-09-29

发表刊物: PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号: 33

期号: 8

ISSN号: 0963-0252

关键字: ABSORPTION-SPECTROSCOPY; CONSISTENT PARTICLE SIMULATION; DENSITY; DISCHARGE; FLUORINE-ATOMS; KINETICS; MODEL; PRESSURE; REACTIVE PLASMAS

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