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刘永新
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

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Energy efficient F atom generation and control in CF4 capacitively coupled plasmas driven by tailored voltage waveforms

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发布时间：2025-11-12

发表时间：2024-09-29

发表刊物：PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号：33

期号：8

ISSN号：0963-0252

关键字：ABSORPTION-SPECTROSCOPY; CONSISTENT PARTICLE SIMULATION; DENSITY; DISCHARGE; FLUORINE-ATOMS; KINETICS; MODEL; PRESSURE; REACTIVE PLASMAS

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