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刘永新
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别:男

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:物理学院

学科:等离子体物理

办公地点:大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

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Discharge similarity in capacitive radio frequency carbon tetrafluoride plasmas

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发布时间:2025-11-12

发表时间:2025-10-24

发表刊物:APPLIED PHYSICS LETTERS

卷号:127

期号:12

ISSN号:0003-6951

关键字:LAWS; SIMULATION; TRANSITION

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