大连理工大学主页平台管理系统刘永新--Yong-- Dynamics of electron power absorption in capacitive radio-frequency CF4 plasmas operating in the striation mode

刘永新

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教授博士生导师硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

电子邮箱： yxliu129@dlut.edu.cn

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Dynamics of electron power absorption in capacitive radio-frequency CF4 plasmas operating in the striation mode

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发表时间： 2025-10-24

发表刊物： PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号： 34

期号： 8

ISSN号： 0963-0252

关键字： DISCHARGE; ENERGY; PARTICLE-IN-CELL

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