教授 博士生导师 硕士生导师
性别： 男
毕业院校： 大连理工大学
学位： 博士
所在单位： 物理学院
学科： 等离子体物理
办公地点： 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室
电子邮箱： yxliu129@dlut.edu.cn
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发表时间： 2025-10-24
发表刊物： JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS
卷号： 58
期号： 36
ISSN号： 0022-3727
关键字： GAS; MECHANISMS; NF3; SURFACE
