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刘永新
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

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A study on etching properties of quartz and silicon by a dual-frequency (60 MHz/400 kHz) capacitively coupled NF3/Ar/O2 plasma: effect of pressure

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发布时间：2025-11-12

发表时间：2025-10-24

发表刊物：JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS

卷号：58

期号：36

ISSN号：0022-3727

关键字：GAS; MECHANISMS; NF3; SURFACE

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