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论文类型：期刊论文

发表时间：2009-03-15

发表刊物：材料研究与应用

卷号：3

期号：1

页面范围：19-22

ISSN号：1673-9981

关键字：BCN薄膜;傅立叶变换红外光谱;射频磁控溅射

摘要：采用射频磁控溅射方法,以石墨和六方氮化硼(h-BN)为复合靶,在氩气和氮气的氛围中,在室温和673 K的条件下,分别改变N2流量,沉积BCN薄膜.经傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明,在1000～1800 cm-1和2200 cm-1处分别出现了C=N键和弱的C≡N键的特征吸收峰,表明沉积的薄膜组分当中,少量碳原子与氮原子结合.而分别溅射石墨和h-BN靶,红外光谱分析显示1100 cm-1处不是B-C键.说明采用射频磁控溅射方法得到的薄膜倾向于相分离.