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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：吉林大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：baiyz@dlut.edu.cn
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甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响
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论文类型：期刊论文
发表时间：2009-03-15
发表刊物：材料研究与应用
卷号：3
期号：1
页面范围：28-31
ISSN号：1673-9981
关键字：掺硼金刚石;热丝CVD;扫描电子显微镜;拉曼光谱
摘要：在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核增加,晶粒尺寸减小,晶界变得模糊,结晶性下降,非金刚石相增多,过高的甲烷流量导致掺硼金刚石薄膜的球状生长.