自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性
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论文类型：期刊论文
发表时间：2008-06-15
发表刊物：发光学报
收录刊物：CSCD、ISTIC、PKU
卷号：29
期号：3
页面范围：455-459
ISSN号：1000-7032
关键字：声表面波滤波器 金刚石 ZnO薄膜 磁控溅射
摘要：采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化.利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测.结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉积得到的ZnO薄膜取向较一致,呈现高阻的状态并且发光性能最好.