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个人信息Personal Information
助理研究员
性别：男
出生日期：1995-08-22
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
办公地点：主楼东侧楼305
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Hybrid simulation of radio frequency biased inductively coupled Ar/O2/Cl2 plasmas
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论文类型：期刊论文
论文编号：390630
发表时间：2024-02-20
发表刊物：ACTA PHYSICA SINICA
卷号：73
期号：4
ISSN号：1000-3290
关键字：CHLORINE PLASMAS; DIAGNOSTICS; DYNAMICS; ELECTRON; ENERGY-DISTRIBUTION; ETCHING CHARACTERISTICS; MODEL; PROFILE EVOLUTION; SHEATH; SILICON