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个人信息Personal Information
助理研究员
性别：男
出生日期：1995-08-22
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
办公地点：主楼东侧楼305
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Fast simulation of the E-H mode transition in Ar/O-2 inductively coupled plasmas
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论文类型：期刊论文
论文编号：371541
发表时间：2023-07-21
发表刊物：JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
卷号：134
期号：3
ISSN号：0021-8979
关键字：AR; ARGON; ELECTRON-ENERGY DISTRIBUTION; HYSTERESIS; O-2; OXYGEN DISCHARGES