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个人信息Personal Information
助理研究员
性别：男
出生日期：1995-08-22
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
办公地点：主楼东侧楼305
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Investigation of the dual-frequency bias effect on inductively coupled Cl-2 plasmas by hybrid simulation
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论文类型：期刊论文
论文编号：364594
发表时间：2023-09-07
发表刊物：JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS
卷号：56
期号：36
ISSN号：0022-3727
关键字：DISCHARGES; ION ENERGY-DISTRIBUTIONS; MODEL; REACTORS; SHEATH; SILICON