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个人信息Personal Information
助理研究员
性别：男
出生日期：1995-08-22
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
办公地点：主楼东侧楼305
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大面积矩形感性耦合等离子体源的三维流体力学模拟
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论文类型：期刊论文
论文编号：388751
发表时间：2023-01-01
发表刊物：力学学报
卷号：55
期号：12
页面范围：2891-2899
ISSN号：0459-1879
关键字：三维流体力学模拟; 光伏工艺; 大面积矩形感性耦合等离子体源; 平板显示工艺
CN号：11-2062/O3