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个人信息Personal Information
助理研究员
性别：男
出生日期：1995-08-22
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
办公地点：主楼东侧楼305
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带有射频偏压源的感性耦合Ar/O2/Cl2等离子体放电的混合模拟研究
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论文类型：期刊论文
论文编号：388733
发表时间：2023-01-01
发表刊物：物理学报
关键字：偏压源; 感性耦合等离子体; 混合模型; 离子能量; 离子通量