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Degree:Doctoral Degree
School/Department:机械工程学院

Gender:Male

Alma Mater:大连理工大学

Current position: Home / Scientific Research / Paper Publications

光电化学机械抛光装置设计

Date of Publication:2024-03-30 Hits:

Journal:制造技术与机床
Issue:02
Page Number:40-45
Key Words:GaN; 光电化学机械抛光; 抛光装置
CN No.:11-3398/TH
Date of Publication:2024-03-30