大连理工大学主页平台管理系统 zhuxianglong--Home-- 一种半导体晶片及吸盘表面清洗打磨装置

Personal Information

Degree:Doctoral Degree
School/Department:机械工程学院

Gender:Male

Alma Mater:大连理工大学

Current position: Home / Scientific Research / Patents

一种半导体晶片及吸盘表面清洗打磨装置

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First Author:刘建清
Disigner of the Invention:吕鸿明,zhuxianglong,Renke Kang
Application Number:CN101352828A