Degree:Doctoral Degree School/Department:机械工程学院
Gender:Male
Alma Mater:大连理工大学
一种内表面在线检测和修整一体化工具
蜂窝芯面形测量数据毛刺去除方法
一种蜂窝芯面形测量数据毛刺去除方法
一种铜片化学机械抛光液
一种氮化镓晶片光电化学机械抛光液及抛光方法
一种深长孔直线度检测装置及方法
半导体晶片光电化学机械抛光装置
一种圆形低刚度工件的平行度及平面度测量装置及方法
一种半导体晶片光电化学机械抛光加工装置
一种大型抛光机盘面平面度检测装置及其工作方法