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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：知方楼5130
联系方式：15998535043
电子邮箱：zhuxianglong@dlut.edu.cn
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石英晶片化学机械抛光工艺优化
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发表时间：2024-05-25
发表刊物：微纳电子技术
卷号：60
期号：01
页面范围：159-164
关键字：化学机械抛光(CMP); 工艺优化; 平面度; 石英晶片; 表面粗糙度
CN号：13-1314/TN