教授 博士生导师 硕士生导师
性别： 男
毕业院校： 大连理工大学
学位： 博士
所在单位： 机械工程学院
学科： 机械制造及其自动化
办公地点： 知方楼5130
联系方式： 15998535043
电子邮箱： zhuxianglong@dlut.edu.cn
邮箱 : zhuxianglong@163.com
QQ : 25687645
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发表时间： 2024-05-25
发表刊物： 微纳电子技术
卷号： 60
期号： 01
页面范围： 159-164
关键字： 化学机械抛光(CMP); 工艺优化; 平面度; 石英晶片; 表面粗糙度
CN号： 13-1314/TN
