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朱祥龙
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别: 男

毕业院校: 大连理工大学

学位: 博士

所在单位: 机械工程学院

学科: 机械制造及其自动化

办公地点: 知方楼5130

联系方式: 15998535043

电子邮箱: zhuxianglong@dlut.edu.cn

邮箱 : zhuxianglong@163.com

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Model for surface topography prediction in the ultra-precision grinding of silicon wafers considering volumetric errors

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发表时间: 2024-05-21

发表刊物: Measurement: Journal of the International Measurement Confederation

卷号: 234

ISSN号: 0263-2241

关键字: Error modeling; Errors; Functional points; Grinding (machining); Homogeneous transformation matrix; Linear transformations; Precision grinding machines; Silicon wafers; Surface topography; Surface topography prediction; Thinnings; Topography; Ultraprecision grinding; Volumetric errors; Wafer surface; Wafer surface quality

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