朱祥龙

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:男

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:机械工程学院

学科:机械制造及其自动化

办公地点:知方楼5130

联系方式:15998535043

电子邮箱:zhuxianglong@dlut.edu.cn

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论文成果

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Model for surface topography prediction in the ultra-precision grinding of silicon wafers considering volumetric errors

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发表时间:2024-05-21

发表刊物:Measurement: Journal of the International Measurement Confederation

卷号:234

ISSN号:0263-2241

关键字:Error modeling; Errors; Functional points; Grinding (machining); Homogeneous transformation matrix; Linear transformations; Precision grinding machines; Silicon wafers; Surface topography; Surface topography prediction; Thinnings; Topography; Ultraprecision grinding; Volumetric errors; Wafer surface; Wafer surface quality