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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：知方楼5130
联系方式：
电子邮箱：
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Model for surface topography prediction in the ultra-precision grinding of silicon wafers considering volumetric errors
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论文类型：期刊论文
论文编号：392844
发表时间：2024-07-18
发表刊物：MEASUREMENT
卷号：234
ISSN号：0263-2241
关键字：ACCURACY; COMPENSATION; GEOMETRIC ERROR; IDENTIFICATION; MACHINE; MATHEMATICAL-MODEL; ROTARY AXIS; SHAPE; SUBSURFACE DAMAGE