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个人信息Personal Information
教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：硕士
所在单位：机械工程学院
学科：机械电子工程. 精密仪器及机械
办公地点：机械工程学院新楼7027室
联系方式：电话：13898451994
电子邮箱：zxxu@dlut.edu.cn
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用UV-LIGA工艺制备MEMS铜线圈
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论文类型：期刊论文
发表时间：2013-01-01
发表刊物：光学精密工程
收录刊物：PKU、ISTIC
卷号：21
期号：supl
页面范围：69-75