Professor Supervisor of Doctorate Candidates Supervisor of Master's Candidates
| NO. | Faculty/School | Major | Year |
| 1 | 微电子学院 | 集成电路工程 | 2023 |
| 2 | 微电子学院 | 电子科学与技术 | 2023 |
| 3 | 物理学院 | 等离子体物理 | 2023 |
| NO. | Faculty/School | Major | Research Focus | Year |
| 1 | （开发区校区）微电子学院 | 集成电路工程 | PECVD装备的实验诊断及数值模拟研究 | 2023 |
| 2 | （开发区校区）微电子学院 | 集成电路工程 | 等离子体刻蚀机的实验诊断及数值模拟研究 | 2023 |
| 3 | （开发区校区）微电子学院 | 集成电路工程 | 集成电路中等离子体装备的物理基础研究 | 2023 |
| 4 | （主校区）物理学院 | 物理学 | 粒子束及电磁波与物质相互作用 | 2023 |
| 5 | （主校区）物理学院 | 物理学 | 低气压射频等离子体实验与诊断 | 2023 |
| 6 | （主校区）物理学院 | 物理学 | 等离子体工艺腔室建模与仿真 | 2023 |
| 7 | （主校区）物理学院 | 等离子体物理 | 粒子束及电磁波与物质相互作用 | 2022 |
| 8 | （主校区）物理学院 | 等离子体物理 | 低气压射频等离子体实验与诊断 | 2022 |
| 9 | （主校区）物理学院 | 等离子体物理 | 等离子体工艺腔室建模与仿真 | 2022 |
