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王友年
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Professor Supervisor of Doctorate Candidates Supervisor of Master's Candidates
Research Projects
委托年度测试和仿真服务协议, 2020/12/07-2023/07/14, 结题
为等离子体均匀性控制改进, 2021/01/22-2023/07/14, 结题
射频电源等离子体技术合作项目, 2021/03/01-2022/02/28, 结题
射频等离子体技术调研咨询项目, 2021/03/12-2021/07/31, 结题
PECVD非晶硅镀膜装备低气压射频等离子体实验诊断研究项目, 2021/03/17-2023/07/14, 结题
PECVD非晶硅镀膜装备低气压射频等离子体数模研究, 2021/03/17-2023/07/14, 结题
超低气压下感性耦合放电的加热机理研究, 2021/03/07, 在研
等离子体仿真开发技术及其相关应用研究合同, 2021/04/30-2021/12/31, 在研
【等离子体腐蚀表征平台】技术研究项目, 2021/07/19-2023/12/31, 在研
高功率微波窗击穿诊断研究, 2018/01/29-2021/01/19, 结题
PECVD等离子体仿真, 2013/07/17-2013/12/31, 结题
大功率低压射频感性耦合负氢离子源的物理基础研究, 2014/12/31, 结题
PECVD等离子体仿真及诊断, 2008/02/22-2008/07/22, 结题
电容耦合等离子体增强化学气相沉淀(PECVD)仿真, 2008/06/15-2008/12/30, 结题
12英寸PEVCD腔室的等离子体仿真及诊断, 2009/12/20-2010/12/20, 结题
太阳能薄膜设备等离子体放电计算机模拟, 2011/09/01-2012/08/31, 结题
PECVD工艺气体放电仿真, 2012/06/14-2012/12/31, 结题
射频感性耦合等离子体源仿真模拟, 2013/06/01-2014/09/30, 结题
等离子体工艺腔室仿真及实验评价, 2012/06/01, 结题
等离子体工艺腔室的多场耦合仿真, 2011/01/01, 结题
双频容性耦合等离子体沉积多晶硅薄膜的机理研究, 2008/01/01-2023/09/13, 结题
等离子体反应腔室的多场耦合模型建立及实验验证, 2009/12/02-2012/12/31, 结题
高能高电荷态离子引起物质强电离激发过程研究, 2009/08/21-2014/08/31, 结题
HL-2A强流中性束加热关键技术研究, 2010/03/30-2013/03/31, 结题
甚高频放电下大面积容性耦合等离子体的电磁效应, 2013/09/25, 结题
第三届微电子及等离子体技术国际会议, 2011/03/01-2011/07/31, 结题
射频感应耦合等离子体中放电模式转换机理的研究, 2010/09/25-2013/12/31, 结题
第9届国际核聚变技术大会, 2009/10/11-2009/10/16, 结题
俄中等离子体高科技研讨会, 2007/09/20-2007/09/21, 结题
低气压多频等离子体与材料表面相互作用, 2006/09/25-2010/12/31, 结题
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