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射频感应耦合等离子体中放电模式转换机理的研究

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Leading Scientist:wangyounian

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:面上项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:11075029

Date of Project Approval:2010-09-25

Scheduled completion time:2013-12-31

Date of Project Initiation:2011-01-01

Date of Project Completion:2013-12-31

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