Current position: Home >> Scientific Research >> Research Projects

第三届微电子及等离子体技术国际会议

Hits:

Leading Scientist:wangyounian

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:国际(地区)合作与交流项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:11110301007

Date of Project Approval:2011-03-01

Scheduled completion time:2011-07-31

Date of Project Initiation:2011-03-01

Date of Project Completion:2011-07-31

Pre One:甚高频放电下大面积容性耦合等离子体的电磁效应

Next One:射频感应耦合等离子体中放电模式转换机理的研究