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论文类型：期刊论文

第一作者：刘凯强

合写作者：余隽,唐祯安

发表时间：2015-12-15

发表刊物：仪表技术与传感器

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD

期号：12

页面范围：4-7

ISSN号：1002-1841

关键字：静电执行器;微热板;有限元;SnO2 薄膜应力

摘要：将微热板与静电梳齿执行器结合，设计出一种恒温加热状态下调节气敏薄膜（ SnO2）应力的系统结构。采用有限元软件（ COMSOL Multiphysics）仿真分析了不同温度下器件的形变、气敏薄膜中的应力分布及其调节范围。仿真结果表明，气敏薄膜中的应力随着静电梳齿执行器驱动电压的升高而下降，成功实现对气敏薄膜中应力分布的调节，该结构可用于应力对薄膜气敏特性影响的研究。