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氩辉光放电阴极区离子的能量和角分布

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:1993-01-01

Journal:大连理工大学学报

Included Journals:PKU、CSCD

Volume:33

Issue:4

Page Number:489

ISSN No.:1000-8608

Key Words:能量分布;辉光放电;氩;蒙特卡罗方法

Abstract:由蒙特卡罗方法模拟离子在氩直流辉光放电阴极位降区的运动,包括了 离子现中性原子的电荷交换碰撞和弹性散射,用到了较精确的依赖于离子能 量的电荷交换和动量输运截面,得到了阴极位降区不同位置离子的能量分布 和角分布.发现:离子由负辉光区向阴极运动过程中,离子能量分布的高能部 分逐渐增大,角分布向小角度部分压缩,阴极位降区的强电场加速和聚焦了 离子.

Pre One:Plasma source ion implantation (PSII) and PSII enhanced film deposition

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