Hits:
Indexed by:会议论文
Date of Publication:2004-06-30
Page Number:1
Key Words:集成电路;超精密加工;发展
Abstract:集成电路(IC)和光电子技术已经成为国民经济和社会信息化发展最主要的高新技术之一。微电子和光电子制造业已经是集国家利益、人类智慧和最新科技于一体的基础性和战略性产业,也是当今世界竞争最激烈、发展最迅速的领域。谁
Pre One:CMP加工中的真空吸盘区域压力控制技术
Next One:大直径硅晶片化学机械抛光及其终点检测技术的研究与应用
