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平板直流负偏压碰撞鞘层Child-Langmuir定律的拟合公式

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2006-03-15

Journal:核聚变与等离子体物理

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD

Volume:26

Issue:1

Page Number:71-74

ISSN No.:0254-6086

Key Words:鞘层;Child-langmuir定律;碰撞效应

Abstract:采用流体动力学模型研究了离子与中性粒子的电荷交换碰撞效应对直流偏压鞘层厚度的影响.对于平板鞘层,结果表明随着碰撞参数的增大,鞘层厚度明显地变小.根据数值结果,给出了碰撞情况下的Child-Lang-muir定律的拟合式.研究了柱形和球形靶的靶半径对鞘层厚度的影响.

Pre One:等离子体刻蚀工艺的物理基础

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