等离子体刻蚀工艺的物理基础
Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2006-08-12
Journal: 物理
Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU
Volume: 35
Issue: 8
Page Number: 693-698
ISSN: 0379-4148
Key Words: 等离子体;刻蚀;电容耦合放电;电感耦合放电;双频;鞘层
Abstract: 介绍了等离子体刻蚀工艺背景以及有关等离子体刻蚀机理的研究进展,综述了等离子体刻蚀机理的研究方法,着重阐述了电容耦合放电和电感耦合放电等离子体物理特性,特别是双频电容耦合放电等离子体和等离子体鞘层研究中的关键问题.