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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2007-08-20
Page Number:69
Key Words:等离子体物理;容性耦合;等离子体刻蚀;等离子体密度;能量分布;混合模型;轮廓线;Electron;sheath;不均匀性;
Abstract:~~
Pre One:射频感应耦合Ar/N2 等离子体物理特性的Langmuir 探针测量及理论研究
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