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Indexed by:会议论文

Date of Publication:2009-07-20

Page Number:1

Key Words:容性耦合;放电等离子体;等离子体探针;朗缪尔探针;谐波成分;双探针;探针装置;电子温度;工艺参数;物理过程;

Abstract:短间隙双频容性耦合放电等离子体(DFCCP)在电子工业中应用广泛,对这种等离子体进行诊断,准确把握等离子体的各项参数,对于深刻理解放电的物理过程和优化工艺参数具有重要意义。常规的朗缪尔探针用于DFCCP诊断会受到射频信号的严重干扰而无法正常工作。这是由于双频放电中存在复杂的谐波成分加上极板间隙短(～2cm),通常在单一射频放电等离子体探针诊断中用于抗干扰的射频扼流圈失去了作用,辅助电极等结构难以使用。科研和生产都迫切需要一种可靠实用的诊断DFCCP的方法和装置。