王友年

  • 教授     博士生导师   硕士生导师
  • 性别:男
  • 毕业院校:大连工学院
  • 学位:硕士
  • 所在单位:物理学院
  • 学科:等离子体物理
  • 办公地点:大连理工大学物理系楼306
  • 联系方式:0411-84707307
  • 电子邮箱:ynwang@dlut.edu.cn

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EFFECT OF APPLIED PULSE BIAS ON SHEATH CHARACTERISTICS IN PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION WITH DIELECTRIC SUBSTRATES

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论文类型:会议论文

发表时间:2011-01-01