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Study on Nonlinear Plasma Dynamics in Electron Heating of Asymmetric Capacitive Discharges with a Fluid Sheath Model

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论文类型：期刊论文

发表时间：2011-01-01

发表刊物：CHIN.PHYS.LETT

卷号：28

期号：10

页面范围：75202-75202

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