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论文类型：会议论文

发表时间：2011-08-08

页面范围：87-87

关键字：低温等离子体;PIC/MC;iPM;容性耦合;电子密度;回旋共振;电离度;模拟程序;尺度问题;自偏压;

摘要：低温等离子体典型的电子密度和温度范围分别为10~7～10~(13)cm~(-3)和l～100eV,电离度为0.0l%～10%。典型的放电构型包括直流、射频(容性耦合等离子体和感应耦合等离子体)、微波回旋共振等离子体等。低温等离子体是一个多尺度问题,计算量很大,相当多的两维模拟只有借助超级计算机和专门算法才能完成,因此绝大部分工作都是一维的,二维以上的报道很少。低温等离子体研究中高频电子