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论文类型：会议论文

发表时间：2011-08-08

页面范围：210-210

关键字：等离子体;容性耦合;PIC模拟;电非对称;电负性气体

摘要：容性耦合等离子体技术被广泛用于微电子工业中的刻蚀、沉积和清洗等工艺中。其中对于轰击到基片上的离子的通量和能量的独立控制是非常关键的,因为离子通量决定着生产率,而离子能量控制着表面处理过程。通常采用的两个频率相差很大的双频电源驱动方法,由于两个频率之间的强烈耦合,使得独立控制受到限制。德国鲁尔波鸿大学的B.G.Heil和U.Czarnetzki~1等人最近提出,利用谐波电源驱动产生的电非对称效应,在电正性气体Ar放电中,可以很好地实现