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论文类型：期刊论文

发表时间：2004-08-01

发表刊物：物理学报

收录刊物：SCIE、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：53

期号：8

页面范围：2661-2665

ISSN号：1000-3290

关键字：射频鞘层;非对称电极;碰撞效应;离子

摘要：对于大多数活性射频等离子体刻蚀工艺,由于放电室中两个电极的面积不等,使得两个电极附近的等离子体鞘层是非对称性的.考虑离子与中性粒子的碰撞效应,建立了一种描述这种非对称射频鞘层动力学特性的自洽动力学模型.数值结果显示碰撞效应对极板上的瞬时电压降、瞬时电子鞘层厚度、鞘层内的离子密度和动能的空间分布以及两个极板上电压之差等物理量的影响.