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脉冲调制射频容性耦合反应性气体放电的机理研究

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Leading Scientist:SONG Yuan-Hong

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:面上项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:11275038

Date of Project Approval:2012-09-25

Scheduled completion time:2016-12-31

Date of Project Initiation:2013-01-01

Date of Project Completion:2016-12-31

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