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Professor Supervisor of Doctorate Candidates Supervisor of Master's Candidates
Research Projects
- [1] 非对称射频容性耦合放电电子动力学及加热机理模拟研究和实验验证,国家自然科学基金项目,2020-09-18,在研
- [2] 容性耦合等离子体准原子层刻蚀/沉积的多尺度混合模拟研究,国家自然科学基金项目,2019-08-16,2024-03-26,结题
- [3] 裁剪波形电负性气体容性耦合放电机理的混合模拟和实验验证,国家自然科学基金项目,2016-08-17,结题
- [4] 燃烧等离子体约束改进型运行模式,国家科技部,2015-12-02,结题
- [5] 2008年度教育部新世纪优秀人才支持计划,主管部门科技项目,2008-12-31,2011-12-31,结题
- [6] 脉冲调制射频容性耦合反应性气体放电的机理研究,国家自然科学基金项目,2012-09-25,2016-12-31,结题
- [7] keV-MeV离子束与碳纳米管相互作用的理论研究,国家自然科学基金项目,2009-09-25,2012-12-31,结题
- [8] 双频容性耦合反应性等离子体中纳米尺度尘埃颗粒生长机制及输运过程的计算机模拟,国家自然科学基金项目,2007-09-25,2010-12-31,结题
- [9] 高功率微波窗击穿诊断研究,其他课题,2018-01-29,2021-01-19,结题
- [10] 尘埃等离子体动力学过程研究,企事业单位委托科技项目,2018-01-10,2020-06-30,结题