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裁剪波形电负性气体容性耦合放电机理的混合模拟和实验验证

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Leading Scientist:SONG Yuan-Hong

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:面上项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:11675036

Date of Project Approval:2016-08-17

Scheduled completion time:2020-12-31

Date of Project Initiation:2017-01-01

Pre One:容性耦合等离子体准原子层刻蚀/沉积的多尺度混合模拟研究

Next One:燃烧等离子体约束改进型运行模式