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非对称射频容性耦合放电电子动力学及加热机理模拟研究和实验验证

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Leading Scientist:SONG Yuan-Hong

Project Participants:Kai Zhao,daizhongling,zhangyingying

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:重点国际合作研究项目

Status:在研

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:12020101005

Date of Project Approval:2020-09-18

Scheduled completion time:2025-12-31

Date of Project Initiation:2021-01-01

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