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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：物理学院305
联系方式：0411-84707939
电子邮箱：songyh@dlut.edu.cn
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容性耦合等离子体准原子层刻蚀/沉积的多尺度混合模拟研究
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负责人姓名：宋远红
项目参与人员：戴忠玲,张莹莹
项目来源：国家自然科学基金项目
项目子类：面上项目
项目状态：结题
项目来源单位：国家自然科学基金委员会
项目性质：纵向
项目批准号：11975067
立项时间：2019-08-16
计划完成时间：2023-12-31
开始日期：2020-01-01
结项日期：2024-03-26