|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：物理学院305
联系方式：0411-84707939
电子邮箱：songyh@dlut.edu.cn
扫描关注
- Wen, Ying-Ying, Zhang, Yu-Ru, Jiang, Ge, Song, Yuan-Hong, Wang, You-Nian, YR (reprint author), Dalian Univ Technol, Sch Phys, Minist Educ, Key Lab Mat Modificat Laser Ion & Electron Beams, Dalian 116024, Peoples R China..Secondary electron effect on sustaining capacitively coupled discharges: A hybrid modeling investigation of the ionization rate[J],AIP ADVANCES,2019,9(5)
- 胡艳婷, 王友年, 宋远红, 张钰如.相位角对容性耦合电非对称放电特性的影响[J],物理学报,2018,67(22):288-300
- Zhang, Yu-Ru, Hu, Yan-Ting, Gao, Fei, Song, Yuan-Hong, Wang, You-Nian, YN (reprint author), Dalian Univ Technol, Sch Phys, Key Lab Mat Modificat Laser Ion & Electron Beams, Minist Educ, Dalian 116024, Peoples R China..Plasma characteristics in an electrically asymmetric capacitive discharge sustained by multiple harmonics: operating in the very high frequency regime[J],PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,27(5)
- Liu, Xiang-Mei, Song, Yuan-Hong, Jiang, Wei, Jia, Wen-Zhu, XM (reprint author), Qiqihar Univ, Sch Sci, Qiqihar 161006, Peoples R China..Effect of Parallel-Plate Geometry on Mode Transition Behavior in Argon Microplasmas: Two-Dimensional Simulation[J],CHINESE PHYSICS LETTERS,2018,35(4)
- 戴忠玲, 董婉, 宋远红, 王友年.Effect of ion bombardment time on the profile of atomic layer etching[A],2018
- 董婉, 宋远红, 戴忠玲, 王友年, 王喜凤.Effect of plasma uniformity on etching profiles[A],2018
- 非对称射频容性耦合放电电子动力学及加热机理模拟研究和实验验证, 国家自然科学基金项目, 2020/09/18, 在研
- 容性耦合等离子体准原子层刻蚀/沉积的多尺度混合模拟研究, 国家自然科学基金项目, 2019/08/16-2024/03/26, 结题
- 裁剪波形电负性气体容性耦合放电机理的混合模拟和实验验证, 国家自然科学基金项目, 2016/08/17, 结题
- 燃烧等离子体约束改进型运行模式, 国家科技部, 2015/12/02, 结题
- 2008年度教育部新世纪优秀人才支持计划, 主管部门科技项目, 2008/12/31-2011/12/31, 结题
- 脉冲调制射频容性耦合反应性气体放电的机理研究, 国家自然科学基金项目, 2012/09/25-2016/12/31, 结题