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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：物理学院305
联系方式：0411-84707939
电子邮箱：songyh@dlut.edu.cn
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双频容性耦合Ar/CF4等离子体中双频源参数对刻蚀微观不均匀性影响的研究
点击次数：
论文类型：会议论文
发表时间：2013-08-15
页面范围：252-252
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