宋远红

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:女

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:物理学院

学科:等离子体物理

办公地点:物理学院305

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论文成果

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双频容性耦合Ar/CF4等离子体中双频源参数对刻蚀微观不均匀性影响的研究