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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：物理学院305
联系方式：0411-84707939
电子邮箱：songyh@dlut.edu.cn
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Effect of pulse duration on characteristics of modulated radio-frequency SiH4/N2/NH3 discharges
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论文类型：期刊论文
发表时间：2011-01-01
发表刊物：Thin Solid Films
卷号：519
期号：20
页面范围：6951-6954