升级冶金级Si衬底上ECR-PECVD沉积多晶Si薄膜
Release Time:2022-12-09 Hits:
Date of Publication: 2022-10-09
Journal: 半导体技术
Institution: 材料科学与工程学院
Issue: 2
Page Number: 117-120
ISSN: 1003-353X
Note: 新增回溯数据
Release Time:2022-12-09 Hits:
Date of Publication: 2022-10-09
Journal: 半导体技术
Institution: 材料科学与工程学院
Issue: 2
Page Number: 117-120
ISSN: 1003-353X
Note: 新增回溯数据